2026年5月8日，路维光电发布关于开设募集资金专项账户并签订募集资金专户监管协议的公告。
2025年5月6日，公司获中国证监会同意向不特定对象发行6.15亿元可转换公司债券的批复，期限6年。扣除发行费用后，实际募集资金净额为6.07亿元，于2025年6月17日全部到位。
经公司股东大会授权，2026年4月15日公司召开会议，同意新增全资子公司厦门路维光电有限公司和福建省厦门市作为“半导体及高精度平板显示掩膜版扩产项目”的共同实施主体及实施地点，办理募集资金专户开立手续、签订三方监管协议，并将部分募集资金划转至厦门路维募集资金专户。
截至2026年5月7日，公司在招商银行股份有限公司厦门分行开设了募集资金专项账户，账号为592910510510008，用于厦门路维半导体及高精度平板显示掩膜版扩产项目，目前存放额为0元。
公司、保荐机构国信证券股份有限公司与招商银行股份有限公司厦门分行签订了募集资金专户存储三方监管协议。协议规定，甲方一（路维光电）将根据项目实施计划向专户存入募集资金累计不超过1.09亿元，该专户仅用于项目募集资金的存储和使用。同时对各方权利义务、资金使用、监督等方面作出详细规定。
