近日，中国科学院上海微系统所传感器技术全国重点实验室自主研发的高精度压电MEMS快速反射镜（以下简称MEMS快反镜），搭载中国电科34所研制的激光通信终端发射入轨，成功实现在轨建链。
卫星激光通信利用激光束作为载波在星间进行信息的高速传输，具有通信速率高、安全性强、抗干扰能力强等优势，是6G空天地一体化通信网络的重要组成部分。作为光束的指向、捕获和跟踪系统的核心基础元器件，快速反射镜确保动态跟踪误差始终满足要求，从而实现稳定的建链通信。MEMS快反镜以小体积、低功耗、高带宽、无疲劳等优势，是激光通信终端中精准跳动的“心脏”。本次发射任务中，共计32颗MEMS快反镜以“一箭多星”方式入轨，部署在多个激光通信终端，助力某星座实现在轨建链。这是我国自主研制的MEMS快反镜首次实现批量入轨，并全部成功运行。
中国科学院上海微系统所持续开展高精度MEMS快反镜相关研究，发明低惯量堆叠结构、高面型精度镜面等核心技术。近年孵化科技成果转化企业上海麦锴科技有限公司，攻克宇航辐射可靠性、冲击力学稳定性、批量制造一致性等多项技术难题，形成紧密的产研协同创新体系，推动MEMS快反镜从“实验室”走向“产业化”，以高精尖产品服务我国核心激光通信终端用户，助力我国激光通信产业实现高质量跨越式发展。
