鼎龙股份高端晶圆光刻胶获重要订单突破 头部客户新增订单近千加仑

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鼎龙股份6月11日发布自愿性公告,披露公司控股子公司一鼎龙(潜江)新材料有限公司近期在KrF/ArF高端晶圆光刻胶领域持续取得订单突破。

公告显示,公司年产300吨KrF/ArF高端晶圆光刻胶产线自2026年3月20日投产后,已向两家头部晶圆厂客户交付数百加仑浸没式ArF及KrF光刻胶,并在客户量产产线顺利应用。因公司光刻胶产品性能稳定、使用效果良好,上述两家客户近期合计新增订单近1,000加仑。

截至公告披露日,公司已有8款高端晶圆光刻胶(其中ArF光刻胶与KrF光刻胶各4款)取得多家国内主流晶圆厂客户的批量订单,较今年一季度末新增5款。此外,公司已有数款产品预期在今年年内实现订单转化。2026年上半年产品交付量预计显著提升,商业化进程显著加快。

在测试进展方面,公司已累计布局40余款高端晶圆光刻胶,近30款产品向客户送样开展验证测试,其中超10款进入加仑样测试阶段。同时,公司还布局了数款配套的BARC、SOC等光刻辅材。

据公告介绍,公司自2022年5月布局高端晶圆光刻胶业务,当前已实现从产品研发、小中试线建设、订单获取,到建成国内首条“有机合成-高分子合成-精制纯化-光刻胶混配”全流程的高端晶圆光刻胶量产线,并完成产品稳定批量供应。公司ArF和KrF光刻胶采用客户定制化研发与生产模式,产品覆盖国内晶圆厂全制程技术节点,广泛应用于高端存储(3D NAND、DRAM)和高性能逻辑器件。

产能方面,公司潜江一期年产30吨KrF/ArF高端晶圆光刻胶产线稳定运行,具备批量化生产及供货能力;二期年产300吨KrF/ArF高端晶圆光刻胶量产线已于2026年一季度末建成投产,进入产能爬坡阶段。

供应链管理方面,公司持续开发ArF、KrF光刻胶专用树脂及高纯度单体、光致产酸剂等核心原材料,推进关键原材料自主化,并积极深化国内产业链合作。

公告援引弗若斯特沙利文市场研究称,中国半导体光刻胶市场规模增速高于全球,预计2029年中国ArF与KrF光刻胶市场规模将合计超100亿元。当前国内高端晶圆光刻胶供给仍由海外厂商主导,国产化率极低。

公司表示,高端晶圆光刻胶业务近期订单持续落地,彰显了下游客户对公司在技术实力、研发效率、供货稳定性等方面的高度认可。目前量产线产能稳步爬坡,产品交付能力持续提升,未来有望成为公司新的业绩增长极。

责编: 邓文标
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