7月30日，先导科技集团发布消息，江苏先导微电子自研Star600-EOSS12英寸高端精密光学磁控溅射量产设备，在徐州高新区生产基地完成装配、整机联调、自动化检测与工艺验证，现已送达国内头部晶圆制造企业投入使用。
磁控溅射设备承担晶圆生产的薄膜沉积工序，12英寸高端机型长期由境外厂商占据主要市场份额。Star600-EOSS依照晶圆光学镀膜的工业标准进行开发，各项工艺指标匹配量产产线运行条件，可实现高精度薄膜加工，丰富了国内同类型量产设备的供给来源。
设备顺利通过厂内各项验证并完成出货，反映该设备的机械加工精度、自动化控制系统、配套工艺方案均满足工业化使用条件。采购方通过引入国产设备，可丰富自身产线的设备采购渠道，降低供应链单一化带来的运行风险，优化产线运维与采购成本结构。
依托晶圆厂实地运行产生的工况数据，企业能够依照现场使用反馈持续改良设备性能，充实薄膜沉积设备产品矩阵。国内多家设备企业正在开展镀膜设备的研发及客户导入工作，国产化产品的批量落地，将循序渐进抬高半导体设备国产化比重，为国内晶圆产业常态化生产提供本土化硬件配套选择。
（校对/李正操）
