智现未来亮相 IICIE 2026,Al深度融合,打破流程边界

来源:智现未来 #智现未来#
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2026年9月9日至11日,IICIE 创新博览会、CIOE中国光博会、elexcon深圳国际电子展三展联动,贯通“光—芯—电”全链条,汇聚产业链5000多家企业共赴盛举。三展联动的深层逻辑,在于AI算力时代产业边界加速消融——光互连、集成电路、嵌入式系统不再是各自独立的赛道,而是同一生态中互为连接、互为支撑的环节。

这种“跨界融合”的态势,在智现未来的展台上得到了另一种维度的呼应。当前,横亘在设备、数据、工艺、良率之间的流程边界,正成为制约半导体制造效率的关键瓶颈。本届展会,智现未来携全链路Agent群亮相,不仅仅只是展示单点智能化工具,更聚焦Agentic AI全流程闭环在泛半导体制造领域的最新落地验证——以AI实现深度融合,从数据贯通再到流程闭环


先打通:突破数据孤岛

工程数据孤岛一直是半导体制造行业的老大难问题。数据分散存储在组织内部的各类来源中,查找关键工程数据可能需要数天甚至数周的反复检索。麦肯锡研究显示,在数据存储管理混乱情况下,员工用于查找数据的时间可占工作总时长的30%-40%。而最具价值的制造与工程知识往往未被系统化地记录下来,而是以直觉和经验的形式存在于专家的脑海中。当员工在不同团队、不同部门之间调动或离职时,数据定位任务变得更为棘手。这些系统之间,需要构建一座能连接相关信息片段的统一集成层。

智现未来的解法,是以半导体垂直大模型“灵犀Lingxi”贯通全局数据、形成支撑上层智能体的数智底座——通过多模态数据聚合,将晶圆生产过程中的CP、FT、WAT、Inline、Defect等结构化数据与工艺文档、工程师经验等非结构化知识进行统一整合;同时通过API 接口对接工厂现有的MES、SPC、FDC及缺陷检测等业务系统,实时调用相关分析工具与检测设备,让设备、工艺、良率工程师在同一个智能门户中协作。

这一数据底座的搭建,为上层Agentic AI应用的流程闭环提供了坚实的数据基础与信息基础。

再闭环:跨越流程边界

数据打通解决了“看得见”的问题,流程闭环则解决“做得成”的问题。智现未来的Agentic AI的核心价值浓缩为“感知-分析- 预测-自适应&执行”的完整闭环,通过Agent之间的流转与协作,让良率问题得以快速闭环。

具体而言,“灵犀lingxi”大模型首先会接收来自工程师或上层系统的自然语言任务请求,随后通过检索工厂知识库中的相关知识条目,借助CoT推理策略对任务需求进行逐步拆解。例如,对于“异常监测”任务,智能体能够自动细化为“缺陷感知—良率分析—根因定位—修正&执行”多个子任务。

感知Agent:AIDC 多模态融合缺陷感知&识别

基于轻量化多模态大模型的实时缺陷识别,在机台侧部署覆盖视觉、光谱、传感器时序数据的轻量化 AI 模型,实现关键缺陷和物性的毫秒级识别与量化,充当系统 “实时眼睛”。产线不再是“黑盒”。任何微小的工艺偏离或缺陷萌芽,都会在第一时间被其精准捕捉。

流程触发:DN异常处置

从感知层捕捉到的异常信号,会自动触发DN系统的“实时异常报警->大模型异常溯因与处置建议->异常处置->结案报告生成->知识中台固化经验”全自动异常处置流程,推动工程师在各流程节点的快速响应,迅速完成良率问题的处置闭环。

分析Agent:基于晶圆履历分析与知识中台的多维溯因

结合履历生成&比对,以及知识中台的精准推理,可快速实现晶圆历史追溯与异常根因定位。

在某12吋晶圆厂新型异常分析应用中,“灵犀lingxi”深度挖掘历史Case价值,基于Wafer履历和过往经验,10分钟快速锁定根因(准确率超过90%),推理全程可视化可溯源,Case解决效率大幅提升60%,培训周期直降50%。

预测Agent:DLY良率预测,提供“预见未来”的能力

以自然语言对话完成Kill Ratio、Defect GDS Location实时良率预测及异常告警,精准量化每道工序的良率贡献与最终良率叠加结果。预测结果会自动关联履历溯因分析、相关性分析等工具,输出Top N根因推荐和处置建议,形成“预测—溯因—改善”闭环。

自适应Agent:最优路径优化与实时工艺参数调节

当一个批次(Lot)即将开始某工序(如刻蚀)时,系统将不再随机派工,而是向良率预测智能体模型发起提问“预测良率是多少?” ,预测智能体给出基于当前状态的精准预测。最优路径系统将自动选择“预测良率最高”的最优路径(设备/腔体),联动RTD自动派工。

最优路径解决了“机台组合爆炸”的全局优化难题,紧接着R2R(先进过程控制)发挥“工艺漂移”的实时修正作用,对重点工艺参数(如 CVD 中的压强、温度、气体流量)进行自动、微小的补偿性调节。两者协同控制,将工艺控制从“静态配方”带入“动态自适应”时代,将质量波动实时扼杀在萌芽状态。

以上方案是智现未来Agentic AI 闭环智控及全局优化方案的集中体现,也是YES 全链路智能良率提升平台的核心。它打破了传统模式下感知、报警、分析、预测、执行各系统各自为战的格局,以“灵犀lingxi”大模型为调度中枢,让Agent在“感知—分析—预测—自适应”链路中自主流转,打破数据孤岛、信息孤岛、功能孤岛,实现全流程的自主化闭环。

当前该方案已在12吋先进晶圆厂落地验证,帮助客户在效率、成本、良率与工艺稳定性等方面实现整体优化与智能化升级

全域融合、智能闭环,已成大势。IDC相关报告提出,企业级AI Agent的核心价值在于大模型调度能力与全链路自动化闭环,推动企业从“流程提效”向“决策智能化”跃迁。而半导体制造与智能体的持续融合进阶,离不开产业链的深度合作。智现未来愿以开放姿态,与更多晶圆厂、设备商及AI伙伴协同,在AI赋能半导体制造道路上持续探索,共同推动AI半导体全链路智造从愿景走向现实。


责编: 爱集微
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