华润微电子“功率超结MOSFET芯片关键技术及应用”项目荣获重庆市科技进步奖二等奖

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10月16日,重庆市科学技术奖励大会召开,会上正式揭晓2025年度重庆市科学技术奖。由华润微电子功率集成事业群(简称PIBG)旗下华润微电子(重庆)有限公司牵头,联合重庆大学、重庆邮电大学共同完成的“功率超结MOSFET芯片关键技术及应用”项目,凭借重大技术突破和显著产业应用价值,荣获2025年度重庆市科技进步奖二等奖。

重庆市科学技术奖于1997年由重庆市人民政府设立,是重庆在科学技术领域的最高级别奖项,旨在表彰为全市科技进步作出突出贡献的个人与组织。其中,科技进步奖更侧重行业关键核心技术攻关和产业化突破。此次获奖,不仅彰显了华润微电子在功率半导体领域的硬核创新实力,更标志着依托产学研联合攻关,国产超结MOSFET成功实现从技术突破到产业化落地的全面跨越。

直面行业痛点,三位一体攻克关键技术

该项目针对国产超结MOSFET芯片在高端市场渗透率低、关键技术指标落后等痛点,通过理论创新、结构优化和工艺升级三位一体的技术攻关,取得三项主要技术突破:一是第四代超结MOSFET的比导通电阻(Rsp)和FOM值达到国际领先品牌主流代次同等技术水平。二是产品可靠性表现优异,截至2026年10月,已有数十颗超结MOSFET单管及半桥模块顺利通过车规考核。三是基于国际一流12吋晶圆产线设备,成功开发超结MOSFET量产工艺平台并完成产品系列化,系列产品具备低导通损耗、高可靠性、高性价比及产品覆盖面广等优势。

△华润微重庆12吋功率器件晶圆生产线

产业化成果显著,赋能高端应用领域

依托该项目成果,PIBG成功开发出覆盖300V-1200V电压范围的产品系列,产品在新能源汽车、服务器电源、直流充电桩、光伏发电、储能变换和通信设备等高端核心领域实现规模化落地应用。近三年,该系列产品累计产生直接经济效益超过10亿元,已成为公司核心增长极,进一步巩固了华润微电子国内MOSFET第一品牌的行业地位。此外,该项目高效完成车规级半桥模块开发,自2023年起批量向国内龙头新能源汽车厂供货,助力汽车产业向高效、可靠、安全升级。

△华润微超结MOSFET主要封装形式

产学研协同合作,科研成果转化与人才培养双丰收

本次获奖,是产学研协同合作的重要成果。华润微电子坚持自主创新与开放协同并重的研发理念,通过建立国家级创新平台、与高校联合攻关,最大化整合资源,提升公司整体核心竞争力。多年来,华润微电子(重庆)有限公司与重庆大学、重庆邮电大学等高校开展深度合作,持续深耕超结MOSFET领域,有效整合高校基础研究实力与高端人才优势、企业的市场洞察力与产品化能力以及先进产线资源,加快打通从前沿技术研究到产品快速落地的转化通道。

在产学研联合攻关过程中,该项目已培养博士后5人、博士研究生6人、硕士研究生50余人,为行业输送了一批关键技术人才,为我国功率半导体产业的快速发展积累了人才基础。

知识产权成果丰硕,核心专利荣获中国专利优秀奖

在知识产权方面,该项目已累计获得国内外专利授权50余项。其中,项目核心发明专利《一种超结功率器件及其版图结构、制备方法》(专利号:ZL201610281159.4)荣获第二十五届中国专利优秀奖,彰显了项目在技术创新上的深厚积淀。

载誉前行

此次荣获重庆市科技进步奖,是华润微电子在功率半导体领域持续创新的又一重要里程碑。该项目完整展现了“产学研联合攻关—核心技术突破—产业化落地”的创新路径。未来,华润微电子将继续深化校企合作,携手产业链上下游企业,共同为重庆集成电路产业高质量发展贡献更大力量,向成为世界领先的功率半导体企业的目标稳步迈进。

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