订单进展！万业企业旗下凯世通再获集成电路设备批量订单

集微网最新消息，万业企业旗下的凯世通近日向两家客户出售数台12英吋集成电路低能大束流离子注入机。这标志着凯世通设备在其客户端完成设备验证后，加速获得批量采购订单。

图示：凯世通低能大束流离子注入机系列iStellar-500

离子注入机是芯片制造中至关重要的核心设备之一，其注入工艺验证困难，开发难度仅次于光刻机，是当前半导体发展的核心且必须国产替代的设备。其中，低能大束流离子注入机的市场规模最大，占到60%左右的比例。

据集微网了解，多年来，凯世通对行业持续深耕，产品开拓现已覆盖逻辑、存储、功率等多个应用领域方向，其生产的低能大束流离子注入机与高能离子注入机已实现产业化突破，工艺覆盖率、良率、产能置换率均为业界一流水平。凯世通坚持正向设计和自主创新技术路线，打造大束流离子源、视觉对准系统、高均匀性AMU、固态源蒸发器、束流均匀性调节装置、减速装置等关键技术模块，解决了光学系统中极端低能量与大束流之间的矛盾，攻克了注入角度控制、颗粒污染控制等技术难题，实现了低能量大束流离子束的均匀注入。

此外，凯世通以“提升精度、降低污染、提高产能”为思路设计打造了五轴控制的机器人、高精准度的视觉对准系统、创新地实现了超大体积真空工艺腔室等硬件AI技术，同时还基于物理模型算法和专家系统开发出Beam Auto Tune（自动调节束流）软件系统，平均调束流时间5分钟内，完成一项难度相当大且极其重要的功能落地，可实现离子注入机工作过程的人工智能化控制。同时，凯世通离子注入机现已实现离子注入机Glitch自动修复功能，保证机台在各种条件下安全、稳定生产。凯世通以“软硬件”两手抓结合打造通用平台,不断为技术攻坚的深度理解和高效验证赋能。

依托自研技术壁垒优势，凯世通“按需迭代”成功拓展多款离子注入机系列产品，不断满足国产芯片生产需要，近年来不断加大现有设备产品持续改进和新产品开发力度，目前常规低能大束流离子注入机在先进逻辑芯片代工领域,28nm制程工艺覆盖率达到100%，产能达到国际先进水平，是目前真正实现28nm低能离子注入工艺全覆盖的国产供应商，并率先完成国产高能离子注入机产线验证及验收，截至今年上半年，凯世通已获授权专利 139 项，其中发明专利 83 项，并获得“中国半导体领域高质量引领企业”荣誉称号和“上海市企业技术中心”认定。