士兰微“双向功率器件”专利获授权

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天眼查显示,杭州士兰微电子股份有限公司近日取得一项名为“双向功率器件”的专利,授权公告号为CN115101524B,授权公告日为2024年10月11日,申请日为2020年10月27日。

本申请公开了一种双向功率器件,该双向功率器件包括:半导体层;第一掺杂区,位于半导体层中;第一沟槽区的多个沟槽,位于第一掺杂区中,将第一掺杂区分隔为交替的第一类子掺杂区与第二类子掺杂区;位于多个沟槽中的栅介质层、控制栅、第一屏蔽介质层、第一屏蔽栅、第二屏蔽介质层、第二屏蔽栅,其中,第一屏蔽介质层将控制栅和第一屏蔽栅分隔,第二屏蔽介质层将第二屏蔽栅和第一屏蔽栅分隔,第二屏蔽介质层和栅介质层的厚度均小于第一屏蔽介质层的厚度。该双向功率器件通过设置第二屏蔽介质层和栅介质层的厚度均小于第一屏蔽介质层的厚度,从而可以通过栅电极施加不同电压达到形成不同电场的效果。

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