据张江头条消息，近日，睿励科学仪器（上海）有限公司（以下简称“睿励科学仪器”）新生产中心启动仪式在张江举行，该公司最新光学量测设备TFX-R3和光学缺陷检测设备BriteSD300两款新产品在启动仪式现场重磅发布。睿励科学仪器新生产中心的启用是继该公司营收破亿后、伴随刚宣布完成近5亿元市场战略融资的又一重要里程碑。
睿励科学仪器成立于2005年，位于上海张江高科技园区，是我国第一批半导体前道工艺国产设备公司，也是半导体行业国内第一家量检测领域的国产设备公司，尤其在前道工艺量检测设备领域更是国内先驱，其研发的膜厚量测设备是至今为止进入三星半导体产线的唯一国产设备厂商。其自主研发了多项国产首台设备，填补了我国半导体设备领域的空白。公司连续多年荣获国家级高新技术企业、国家级专精特新“小巨人”企业、上海市小巨人培育企业等称号。
据张江头条消息，睿励科学仪器自成立以来，其自主研发的薄膜测量、光学关键尺寸测量、光学缺陷检测等系列产品填补了我国在该领域的空白，帮助国内外生产线提高生产效率，提升良率，降低设备拥有成本，得到了市场的认可和客户的好评。
据悉，随着睿励科学仪器订单量的迅速增长，在原有张江科学城洁净生产场地达到饱和的情形之下，该公司在张江古博路科技园扩建新的生产基地。新生产中心占地总面积4000平方米，其中千级洁净厂房2000平米，年生产产能近200台。
启动仪式现场，启动仪式现场，睿励科学仪器向全球宣布在光学量检测领域的最新成果——光学量测设备TFX-R3和光学缺陷检测设备BriteSD300两款产品正式发布。据介绍，作为领先型膜厚量测新型号和实用型明场缺陷检测新型号，这两款产品采用了全新的光学设计思路，在测量波长、测量光斑、检测小尺寸缺陷能力等方面都有了重大突破，同时在检测效率上显著提升，能够更好地满足客户不同场景的量检测需求。
11月消息，睿励科学仪器（上海）有限公司宣布完成近5亿元战略融资，本轮融资由金石投资和招商致远联合领投，河南资产、金信资本、鼎青投资等跟投。所融资金主要用于进一步提升先进半导体制程用的光学量检测设备的国产替代能力，丰富产品种类，加大市场开拓力度能力。
