据上海嘉定消息，3月25日，盛剑科技国产半导体制程附属设备及关键零部件项目（一期）正式投产。

（来源：上海嘉定）

据介绍，此前，为进一步深化在半导体产业链的布局，盛剑科技与嘉定工业区管理委员会签订投资协议。该项目用地约27728.6平方米，计划总投资约6亿元，致力于打造一个集研发、制造、销售和维保服务为一体的国产先进半导体附属设备及关键零部件平台。

该项目主要生产工艺废气处理设备、真空设备以及温控设备等。这些设备在半导体制程中发挥着关键作用，能够辅助控制半导体制程设备的反应腔，使其满足刻蚀、离子注入、扩散及薄膜沉积等工艺的环境要求。

据上海盛剑科技股份有限公司副总经理聂磊介绍，盛剑科技国产半导体制程附属设备及关键零部件项目是公司导体产业链的延伸布局，有助于提升国产半导体制程附属设备及关键零部件的生产能力、运维能力和产业竞争力。目前，盛剑科技在真空、温控，包括新型废气处理的关键技术方面实现多项突破，未来将有更多迭代产品在新工厂下线投产。