SAW滤波器性能受限本源:各类损耗剖析

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在声表面波(SAW)滤波器的设计与全流程开发中,系统性抑制各类非必要损耗是贯穿材料选型、结构设计、工艺优化的核心工作,也是决定器件最终性能上限的关键环节。各类损耗不仅直接抬升器件的插入损耗、降低品质因数(Q 值),还会恶化功率耐受能力与温度稳定性等,是制约射频前端滤波器、谐振器等核心器件性能的主要瓶颈。

本期我们将沿着声表面波器件中各种损耗的研究脉络,透过系列文献的演进,浅析它们的产生机理、影响因素以及规避方法,希望能将这些“不可预测的异常现象” 逐步发展为可量化、可控制的设计范式。图 1 展示了 SAW 器件中存在的几种主要损耗,接下来我们将逐一介绍这几种典型损耗的相关特性。

图1 SAW器件中的主要损耗类型

01 材料本征损耗(理论下限)

声表面波滤波器以压电材料体系为功能载体,涵盖单晶压电块材、压电薄膜异质多层衬底两大类。材料本征损耗是压电介质与功能层材料固有的能量耗散,决定了器件损耗的理论下限,无法通过设计端进行完全消除。其核心损耗分量主要以下几个方面:

(1)弹性机械损耗:声波在压电单晶中传播时引发晶格周期性压缩与拉伸,格点振动产生的热声子发生散射,同时晶体中的点缺陷、位错会加剧内摩擦效应,将有序的声波机械能不可逆转化为无序的晶格热振动,形成能量耗散。

(2)介电损耗:交变电场作用下,介质极化弛豫过程产生的能量损耗,用介电损耗角正切tanδ表示;工作频率越高,介电损耗占比越大。

(3)压电弛豫损耗:压电材料在交变电场作用下,应变响应会滞后于电场变化,形成闭合的应变-电场滞后回线。回线包围的面积对应一个周期内耗散的能量,即压电弛豫损耗。该损耗与材料的压电耦合强度、工作频率直接相关,是机电转换过程中特有的本征损耗分量。

(4)热弹性损耗:声波的周期性压缩 - 膨胀会在材料内部形成交替的温度起伏:压缩区因绝热压缩温度升高,膨胀区因绝热膨胀温度降低。局部温度梯度驱动热量从高温区向低温区扩散,该热传导过程是不可逆的,会持续消耗声波的机械能,形成热弹性损耗。

(5)其他:压电性基底表面的微观起伏对声波产生漫散射,波长越短,相同粗糙度的散射损耗越严重;压电体中位错、离子注入损伤、晶界等晶体缺陷会散射声波能量,如POI材料中;空气介质与声波能量的耦合(形成空气负载),将声波能量传递给气体分子形成耗散。

图2材料本征损耗机制示意图

材料本征损耗在SAW器件设计中通常是一个不可调和的矛盾,除更换材料体系外没有太多有效的手段进行消除。

02 衍射和末端效应

声波衍射

声表面波的衍射是声波波动属性的固有表现,SAW 在传播过程中,因激发孔径有限、传播路径存在声阻抗不连续或边界截断,会导致声波偏离直线传播方向、向横向(垂直于主传播方向)扩展展宽的物理现象;声波衍射引入额外损耗,造成SAW器件的传播损耗增加,影响SAW滤波器的性能。

通常,在有限长平面换能器激励的声波在一定距离内以平面波的形式传播,然后波阵面逐渐展开,最后成为圆形,如图3所示。平面波传播的区域称为菲涅耳(Fresnel) 区,圆形波传播的区域称为费朗霍费(Fraunhofer) 区,两个区的临界距离为xc,xc=(1+γ)W2/λ,其中γ表示各向异性因子、W为孔径、λ为波长。衍射会导致波前相位发生畸变,偏离理想平面波特性,进而造成滤波器通带波纹增大、群时延波动加剧,谐振器的谐振峰形态畸变等。其次,衍射产生的横向波数分量会与波导结构耦合,激发不需要的高阶横向模式与体波模式,引入杂散响应。

图3 声波衍射示意图

根据畸变发生的临界距离公式:衍射效应的强弱主要由 IDT 孔径 W 与声波波长 λ 的比值决定,W/λ 越小,衍射效应越显著;传播距离越远,衍射损耗与畸变越严重。所以在实际器件设计中:可以利用汇流条、金属栅结构构建横向波导,通过波导内外的声速差形成声学束缚,将声波限制在波导内部传播,从而限制波束的横向扩散;还可以选择具有波束聚焦特性的晶体切向,利用材料固有各向异性抵消衍射展宽,无需额外结构即可降低衍射损耗;孔径优化设计,不宜采用过小的孔径,在条件允许的情况下可以适当增大 IDT 孔径,提升 W/λ 比值,可直接减弱衍射强度。

侧边声辐射(side radiation)

2007年Shogo Inoue等人在IEEE TUFFC上发表了关于侧边辐射机理及抑制方法的研究文章(“Analysis and Suppression of Side Radiation in Leaky SAW Resonators”),他们基于标量势理论揭示侧边辐射的物理本质,并提出可量产的结构优化方案与器件实现路径。

机理分析:他们将叉指换能器(IDT)与反射栅均被视作短路栅,并作为波导结构进行分析,如图4所示。在慢度曲线呈凹形的旋转 Y-cut LiTaO₃衬底,LSAW 谐振器的IDT与反射栅构成横向波导结构,两侧汇流条为波导边界,声波横向束缚的核心条件为:格栅区声速Vg > 汇流条区声速 Vb。如图5所示,受布拉格反射的色散效应影响,格栅区声Vg随频率动态变化:Vg因布拉格反射而在共振频率附近呈现显著的弥散现象,其中最慢的Vg点恰好与共振频率重合,而Vb则保持恒定;在该频段(非波导频段), LSAW不满足导波条件(Vb > Vg)。因此,在非波导频段内,LSAW 可视为无导波状态,并向母线辐射。侧边辐射强度存在两个特征峰值,恰好对应Vg≈Vb的两个频率点,对于梯形滤波器中的串联谐振器,这两个辐射峰大致对应于滤波器特性曲线的下肩边和上肩边;而对于梯形SAW滤波器中的并联谐振器,高频侧的辐射峰大致对应于滤波器特性曲线的下肩边。因此,梯形SAW滤波器在肩频处会发生侧向辐射,导致其通带宽度变窄且截止特性变缓。若能抑制侧向辐射,则可大幅降低肩频处的插入损耗,从而实现低损耗、陡峭截止特性的梯形SAW滤波器。

图4 (a)实际 IDT 结构,(b)分析模型

图5 LSAW速度及谐振器响应

抑制手段:他们提出了窄指条结构(Narrow Finger Structure)作为侧边辐射的工程化解决方案:如图6所示,核心手段就是通过降低格栅区的金属化率(MR,传统结构约为 50%),通过减小电极指宽提升格栅区的LSAW声速Vg,使Vg在更宽的频率范围内高于汇流条声速Vb,拓宽导波频段,从根源上抑制侧边辐射(图7);金属化率降低会减小 IDT 的总电容,因此同步增大 IDT 孔径进行补偿,保证器件电学阻抗与机电特性匹配。

图6 窄指结构LSAW 谐振器

图7 声表面波声场分布

其他抑制手段请感兴趣的从业人员进一步探究。

03 体波泄露(或辐射)损耗

体波泄漏损耗是声表面波(SAW)器件传播损耗中最核心的组成部分之一,特指声波沿表面传播时,部分能量从表面模式耦合为体波模式(纵波、横波),沿衬底深度方向(纵向)向内部持续辐射或泄露,且无法自发返回表面传播路径,形成的不可逆能量损耗。与横向波导泄漏、衍射等侧向能量损失不同,体波泄漏是沿衬底厚度方向的能量逃逸,是传统normal SAW 器件损耗的理论下限主要贡献项,也是 POI等新型异质衬底重点突破的性能瓶颈。

LSAW谐振器作为阻抗元件滤波器的基本单元,可同时辐射慢剪切体声波(SSBAW)和快剪切体声波(FSBAW)。由于 LSAW 的传播速度通常高于 SSBAW 的传播速度,因此会产生向 SSBAW 模式泄漏的现象。在谐振器或长插指换能器(IDT)结构中,慢剪切体声波会向x和-x方向辐射,当SSBAWs到达基板底部时,它们会在基板背面界面处反射,随后再传播回表面顶部。快切变体波同样会被辐射,但这通常发生在泄漏波阻带以上的频率。由于格栅的布拉格波数是固定的,而传播中的快切变体波(FSBAW)其表面波数会随频率f增加而增大,因此 FSBAW 的传播角度强烈依赖于频率,LSAW 谐振器的工作频率仅略低于这些波的激发截止频率。以上这两种体波是我们在SAW中最常见的两种体波形式。

图8 LSAW器件中基底内 SSBAW 辐射路径的示意图

周期电极阵列可通过三种不同机制辐射体声波:(i)直接激发,(ii)本征模泄漏,以及(iii)散射为体声波。

由于施加在结构上的电压周期为λ0=2p,谐振器产生的波其波矢的x分量为2π/λ0=π/p的整数倍。当满足条件ki(θ)cosθ=nπ/p时,即可激发第i个体声波模式。

除直接激发的波之外,本征模在 SAW 谐振器中向两个方向传播。由于电极的反射作用,本征模的傅里叶分解包含波矢的 x 分量为 ±keig+n2π/p 的分量,其中n为整数。当满足条件ki(θ)cosθ=±keig+n2π/p时,本征模可耦合到体声波。实际上,在基频下主要涉及 n=0和 n=−1两种情况。当 n=0时,本征模泄漏为体声波;当 n=−1时,反射的本征模散射为体声波。在LSAW谐振器中,由于这两种机制共同作用,会产生SSBAW辐射;此外,在阈值频率附近,本征模式开始散射为FSBAW模式。

图9 SAW基板底面处测得的体声波反射图谱

实际SAW器件中存在几种不同的体波响应,如图10所示,图10(a) 是BAW 在底面反射后到达接收IDT, 这种BAW称为深体声波DBAW,它可以通过磨砂底面得到抑制;DBAW比SAW的传播速度快,并且辐射角随频率的增大而增大,因此它的响应出现在比SAW响应频率高的频率上;图10(b) 这种不经过底面反射,直接到达接收 IDT的为浅体声波(SSBW),实际上SSBW与DBAW是等效的,只有当BAW沿平行于表面的方向传播时才能被检测到,因此SSBW响应也出现在比SAW响应频率高的频率上;图10(c)是IDT与底面间的 BAW 厚度响应,它在 2d/VB 的整数倍上周期性出现,d是基片厚度,一般地 d>>λ,因此这种假响应出现在比SAW响应低的频率上;图10(d)是漏 SAW 泄漏的声波激励体波并由底面发生反射产生的,其波速与漏SAW的波速在自由表面十分接近,当传播表面为自由表面时,主要是SSBW的激励,当传播表面为金属表面时,主要是漏SAW的激励。

图10 不同类型的体波响应

其次还存在多种高阶模式的体波寄生,这些模式多为耦合模,会对滤波器的带外抑制、二次谐波等产生影响。

SAW器件中体波泄露(或辐射)的抑制手段主要有:(1)衬底结构革新,如采用 POI、声学布拉格镜等带声学束缚的异质衬底,从根源阻断体波向衬底深处的泄漏;(2)压电材料切向与模式选型:根据频段与带宽需求选择泄漏特性与耦合系数匹配的晶体切向;(3)合理设计电极厚度、金属化率与指条形貌,在欧姆损耗与体波泄漏之间取最优值;(4)对于LSAW,优化反射栅的周期、金属化率与条数,增强表面能量束缚,降低本征体波泄漏;(5)在衬底背面制备吸声层或做粗糙化处理,吸收辐射的体波,抑制背面反射带来的杂散响应。

04 瑞利波辐射损耗

瑞利波辐射(Rayleigh Wave Radiation)是漏声表面波(LSAW)谐振器中一类重要的表面模式转换型声学损耗,特指工作模式LSAW在遇到结构不连续时,发生模式散射与转换,生成瑞利型表面波并向器件侧向辐射,导致主模式能量不可逆流失的现象。它与LSAW自身的横向侧边辐射、纵向体波泄漏并列为LSAW器件的三大核心声学损耗来源。该损耗最早通过激光干涉观测被发现,后由赫尔辛基理工大学Olli Holmgren等人与日本太阳诱电的Shogo Inoue等人分别通过有限元仿真与光学实验系统阐明了其物理机制,并建立了快速解析模型。

2007 年 O. Holmgren 等人基于与扫描激光干涉实验,揭示瑞利波辐射的物理本质,建立辐射特性的定量预测方法,完善 LSAW 器件的损耗机制认知。如图11所示,他们认为瑞利波辐射的核心成因是IDT 电极指尖的振荡电荷直接激发:IDT 电极末端与汇流条的间隙处会积累周期性振荡的电荷,形成横向交变电场,构成周期性点源阵列,直接激发出不同方向的瑞利表面波。支撑证据是:梯形滤波器中,串联谐振器承受的电压更高、电极指尖的电荷振荡更强,瑞利波辐射远强于并联谐振器;而并联谐振器内 LSAW 振幅更大,但瑞利波辐射更弱,说明辐射并非由 LSAW 在间隙处的散射转换产生;不能通过LSAW和瑞利波的同步耦合而产生瑞利波束,因为图中并联谐振器瑞利波辐射很弱,尽管与串联谐振器相比,LSAW振幅很大,并联谐振腔中的LSAW振幅较高,因为其频率接近并联谐振腔的谐振频率,实际上所有的输入电压都施加在串联谐振器上,因为在该频率下并联谐振器的阻抗的最大值小于串联谐振器的,由于电压较高,串联谐振腔发射的瑞利波束比并联谐振腔发射的瑞利波束强。

图11 X形瑞利声表面波辐射方向图

(四束倾斜的瑞利波,在谐振腔结构与谐振腔长度平行的方向以α≈30°的角度对称,呈现X形状。)

他们还指出:瑞利波的机电激发强度具有强烈的角度依赖性;瑞利波辐射虽会带走谐振器的声学能量,但整体损耗量级较小,不会显著恶化单谐振器的电性能;其更主要的潜在影响是引发芯片内相邻谐振器之间的声学串扰。

2013 年 S. Inoue 等人结合有限元仿真(FEM)与扫描激光干涉测量进一步研究瑞利波辐射的产生机制。如图12所示,首先,通过 FEM 对基于42°Y-cut LT衬底的LSAW 谐振器进行声场仿真,发现除沿主传播方向的 LSAW 外,器件中还存在两种明显的侧向辐射:90° 横向辐射与40° 斜向辐射,两类辐射均会带走声波能量,增大器件插入损耗。然后通过分解 x、y、z 三个方向的位移分量,对辐射波的模式进行识别:横向辐射以 y、z 方向位移为主,无 x 方向位移,属于纵波与垂直剪切波耦合的瑞利波模式;斜向辐射同时包含三个方向位移,同样符合瑞利波的位移特征。最终确认两类侧向辐射均为瑞利表面波,是独立于 LSAW 侧边辐射的另一类损耗机制。如图13所示。

图12 LSAW谐振器中声泄漏有限元分析

图13 FEM模拟位移场分布

然后,S. Inoue 等人探究瑞利波辐射产生的原因到底是在IDT和假电极间隙的激发还是散射。他们通过仿真与实验结合,明确了瑞利波辐射的核心成因:泄漏 SAW 在 IDT 与dummy电极的间隙处发生散射,发生模式转换后以瑞利波形式向外辐射,辐射出的瑞利波以柱面波形式沿衬底表面传播,振幅随传播距离的平方根衰减,能量始终沿表面扩散,不会向衬底深处辐射,区别于纵向体波泄漏损耗。

图14瑞利波辐射的解析模型

基于散射机制,提出了一种点源等效解析模型,实现瑞利波辐射的高效仿真,如图14所示。核心思路是将 IDT 与dummy电极之间的每一处间隙等效为瑞利波点源,每个点源的复振幅由COM理论计算得到的 LSAW 声场分布决定;将IDT中泄漏的声表面波由于间隙中的散射而转换为瑞利波,转换后的瑞利波以圆形波的形式从gap中传播,该圆波定义为:

其中,A为点源的复振幅,R为距源的距离,ω为角频率,vr为瑞利波的速度;项sqrt(2πR)表示圆波的能量会随距离的增大而呈反比衰减,瑞利波可向所有圆波相位相互匹配的方向传播。模型效果:在 1.9GHz 谐振器上验证,模型仿真的辐射图案与实验实测结果高度吻合,可准确复现不同频率下的辐射强弱变化;计算速度比 FEM 快约 1000 倍,可高效支撑辐射抑制的结构优化设计。

由此可以得出:间隙越小,指端的结构不连续性越弱,散射强度越低,辐射损耗越小;当 IDT 与假指的间隙为零时,指端的阶跃结构被消除,侧向瑞利波辐射可得到极大抑制。

图15 间隙依赖性

基于其产生机制,工程上主要从以下方向抑制瑞利波辐射:

(1)缩小或消除间隙,通过工艺优化减小IDT与dummy电极的间隙宽度,甚至采用零间隙结构,可大幅削弱散射源,从源头降低辐射强度,实际设计中需兼顾工艺容限与电极间的电学隔离要求;

(2)优化间隙形貌,将平直间隙改为倾斜、渐变或锯齿形结构,破坏瑞利波的相干加强条件,避免形成集中的强辐射瓣,分散辐射能量以降低损耗峰值;

(3)外围吸声结构,在谐振器孔径外侧、汇流条外围设置吸声层或粗糙化结构,吸收已辐射出的瑞利波,避免其反射后形成杂散;

(4)波导结构协同优化,结合汇流条声速设计,构建对瑞利波具有束缚或截止效应的横向波导,使辐射出的瑞利波无法自由向外传播,降低能量流失。

05 Busbar辐射损耗

Busbar 辐射损耗,又称汇流条侧边辐射损耗(Side Radiation),是旋转 Y 切LT、LN基漏声表面波(LSAW)谐振器中一类对器件性能影响很显著的横向声学损耗。它本质是横向波导约束失效后,LSAW 模式能量沿孔径方向(垂直于声波主传播方向)向两侧Busbar区域持续泄漏辐射,造成的不可逆的能量损失。如图16所示,谐振器禁带内由于Busbar 辐射导致的性能恶化。

图16 LSAW谐振器的实测导纳特性

Busbar辐射具有强频率依赖性,可以从LSAW慢度曲线的曲率特性获得定性理解。如图17所示,这些慢度曲线可由两个阈值来表征:沿晶体X轴方向传播的LSAW慢度 Sm0,以及慢度的最大 x分量 Sm1。这两个慢度阈值都是频率-厚度积fh的函数,其中h为金属化厚度。由于Busbar为均匀金属层,若金属化晶体表面支持具有相同 x方向慢度的传播本征模,则LSAW向Busbar的同步辐射即成为可能。将驻波场的慢度 Sx 与阈值慢度 Sm0 和Sm1进行比较,可划分出三个辐射区间,这些区间在图17中以实线进行分隔。

图17 LSAW 慢度曲线示意图

(1) 弱辐射区(I):当 ∣Sx∣<Sm0 时,金属化表面支持一对具有横向慢度 ∣Sy∣的 LSAW 本征模。因此,同步Busbar辐射在原理上是允许的,但由于对应的横向波数较大,其与谐振器中声场的耦合较弱。

(2) 强辐射区(II):当 Sm0<∣Sx∣<Sm1 时,金属化表面具有两对 LSAW 本征模;随着 ∣Sx∣→Sm1,这两对本征模合并为一对。在 ∣Sx∣∼Sm0附近,其中一对本征模的横向慢度非常小,声能几乎平行于晶体 X 轴方向传播。因此,该模式与有源区(谐振腔)内驻波场的耦合相当显著,会产生明显的 LSAW 向Busbar辐射,激发的强度则取决于具体的器件结构。

(3) 无辐射区(III):当 ∣Sx∣>Sm1时,金属化表面上不存在 LSAW 本征模。同步Busbar辐射被禁止,但可能发生微弱的非同步辐射。

需要注意的是,所获得的相对阈值频率仅取决于Busbar中的相对金属膜厚度h/2p,p为相邻电极的中心间距,这些相对阈值频率与电极的形状和宽度等因素无关。

图18 易发生Busbar辐射的相对阻带频率f/fB随相对金属厚度h/2p的变化关系(42°LT)

图19 Busbar辐射测量

Busbar 辐射的抑制核心围绕打破同步辐射条件、增强横向波导束缚、优化边界结构三大方面:Busbar区域的金属厚度-频率乘积(hf)直接决定 LSAW 慢度曲线的形态,进而决定辐射的上下阈值频率;格栅区电极厚度则影响声速色散与阻带位置。通过精准设计电极相对厚度(h/λ),可将器件工作频段移出强辐射区间;通过优化 IDT 端部与Busbar之间的间隙、dummy电极结构,改变横向声阻抗分布,减少能量从有源区向Busbar的泄漏;合理设置孔径宽度,Busbar 辐射的绝对损耗量对孔径宽度的敏感性较弱,但相对损耗在小孔径器件中占比更高、影响更显著,适当增大 IDT 孔径,可降低辐射损耗的相对占比,同时提升模式的横向束缚能力;通过调整格栅周期、电极厚度,可让器件核心工作频段落在无辐射区;不同旋转切角的压电晶体,慢度曲线的曲率、各向异性程度不同,辐射的强度、角度与频段范围存在本征差异,合理设置压电体切型也很重要。

06 电极欧姆损耗

欧姆损耗是声表面波(SAW)器件中最核心的电学类损耗,它本质是射频信号流经叉指换能器(IDT)、汇流条、焊盘等金属结构时,因金属自身电阻产生的焦耳热能量耗散,属于端口型损耗,不随声波传播距离累积。

欧姆损耗的物理根源是金属导体中自由电子的散射:射频电流流过电极时,电子与晶格、缺陷、晶界碰撞,将电能不可逆转化为热能,造成信号幅值衰减。损耗功率满足焦耳定律(P=I2R),电极串联电阻越大、工作电流越大,损耗越显著。它与声学损耗的有本质区别,仅与电极结构、材料、频率相关,与声波传播长度无关。

欧姆损耗的主要构成:(1) IDT 指条电阻损耗,与金属指条宽度、指条数量相关,单根指条的电阻由孔径长度、指条线宽、电阻率决定。

图20 电极欧姆损耗

(2) 汇流条与焊盘电阻损耗,汇流条是电流汇集与分配的结构,焊盘是外部信号输入的端口。两者宽度远大于指条,本征电阻较低,但在大孔径、大功率器件中,汇流条的电阻损耗仍不可忽略。(3) 接触与引线损耗,包括电极与衬底的界面接触电阻、封装引线的键合电阻等,占比相对较低,主要受工艺质量与封装方案影响。

改善措施:

(1) 电极材料选择及材料改性,如选择电阻率更小、电导率更大的金属材料;(2) 优化金属镀膜工艺,提升电极致密度、降低晶界散射,使实际电导率接近材料理论值;(3) 优化孔径与电极对数,在声学性能与芯片尺寸允许的范围内,合理调整电极对数、孔径大小,降低总等效电阻;(4) 电路拓扑结构优化(ladder、DMS)等。

07 杂波寄生损耗

杂波寄生损耗是声表面波(SAW)器件中一类典型声学损耗,由器件激发各类非目标声学模式与杂散谐振所产生。工作过程中,主谐振模式的能量会被无用杂散声波分流、耗散,不仅造成器件整体附加衰减,还会劣化滤波器通带平坦度、增大通带肩峰损耗,同时恶化带外抑制能力,大幅削弱射频滤波器的选频特性。

如图21所示,SAW器件中的杂波寄生类型主要有:横向模寄生、SH模寄生、Rayleigh模寄生、高阶模寄生、纵模寄生、SSBAW模寄生等等,除前面类型以外还有其他类型,此处不再详细列出。

图21 SAW器件中的杂波寄生类型

关于杂波寄生损耗部分笔者会在后续以专题的形式进行解读,本文不再详细展开了。

08 结语

至此,我们沿着声表面波器件中典型损耗的研究脉络,逐一审视了从材料本征损耗、衍射与末端效应、体波泄漏、瑞利波辐射、Busbar辐射,到电极欧姆损耗与杂波寄生损耗的物理本源与工程对策。回顾这一路径,不难发现一个贯穿始终的核心命题:SAW器件的损耗管理,本质上是一场对声波能量“精准束缚”的持续追求。

从材料体系的底层选择,到电极结构的精细雕琢,再到衬底方案的革新突破,每一项损耗抑制技术的背后,都建立在对材料体系、慢度曲线、波导物理等的深刻理解之上。正如我们在文中看到的,实验观测(激光干涉、FEM仿真)与理论建模(慢度分析、COM模型、点源等效)的双轮驱动,不断将“不可预测的异常”转化为“可量化、可设计”的工程参数。

值得特别指出的是,各类损耗之间并非孤立存在,它们常常相互耦合、此消彼长,真正的低损耗设计,从来不是单一机制的极致优化,而是在多重物理约束下寻求系统最优解的折中艺术。声波的能量终会有消散,但我们对更低损耗、更高性能的追求永不止步。希望本期内容能为从事SAW器件研究与设计的同行们提供一份系统性的参考,也期待在后续的专题中,与各位继续深入探讨杂波寄生、非线性效应等更具挑战性的工程课题。

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