2026年10月20日，中国科学院光电技术研究所就编号为TC260707J的晶圆背面/边洗设备采购项目发布中标公告，确定盛美半导体设备（上海）股份有限公司为中标供应商，中标金额为2491.65万元。
本次采购的主要标的为1台晶圆背面/边洗设备，品牌为ACM，型号为Ultra CSAPS II，对应单价24916500元。
本次项目代理服务收费参照原国家计委计价格【2002】1980号文和国家发改委发改办价格【2003】857号文的计算方法下浮20%收取，代理费总金额为13.8866万元。本公告期限为公告发布之日起1个工作日。
