（文/小如）近日，北京屹唐半导体旗下全资子公司Mattson Technology推出创新的高产能真空芯片制程平台——Hydrilis。
单位面积产能是半导体晶圆厂大规模量产的关键指标之一。Mattson首席商务官Subhash Deshmukh表示，Hydrilis平台兼具生产率最高与占地面积最小的特点，已经激起全球客户的极大兴趣。今年将有多台设备发送客户。
Hydrilis同时配置多达4个工艺腔、8个晶圆处理工位，可用于并行或串行晶圆加工。所有的paradigmE系列等离子体刻蚀工艺腔、Suprema系列干法去胶和硬掩膜去除工艺腔、Novyka系列表面处理工艺腔以及Novyka系列高选择比化学干法刻蚀工艺腔，均可集成在Hydrilis平台上。
Mattson Technology是北京屹唐半导体科技有限公司旗下全资子公司。该公司的干法去胶、等离子刻蚀、快速退火以及毫秒级退火设备在全世界领先的逻辑、存储器晶圆制造厂中大规模量产应用。此外，Mattson Technology在平台技术上的创新解决了先进半导体制造工艺中大批量生产中的产能和成本问题。（校对/小北）
