飞骧科技“一种滤波器及其制备方法”专利公布

作者：爱集微 3小时前

来源：爱集微 #飞骧科技#

天眼查显示，深圳飞骧科技股份有限公司“一种滤波器及其制备方法”专利公布，申请公布日为2024年9月13日，申请公布号为CN118646387A。

本发明提供了一种滤波器及其制备方法，其中，方法包括步骤：S1、在压电晶圆的其中一侧制备声学层；S2、在压电晶圆靠近声学层的一侧沉积形成介质层；S3、对介质层进行磨平；S4、采用光刻胶对低频功能区或高频功能区所对应的磨平后的介质层进行第一次粘贴保护；S5、对未进行第一次粘贴保护的功能区所对应的介质层进行第一次修频；S6、采用光刻胶对进行第一次修频后的功能区所对应的介质层进行第二次粘贴保护；S7、对未进行第二次粘贴保护的功能区所对应的介质层进行第二次修频。通过上述方法制备得到的滤波器可以实现不同介质层的厚度需求，从而使其每一个频段都能达到更好性能。