天眼查显示，苏州声芯电子科技有限公司“一种高性能的声表面波滤波器及其成型方法”专利公布，申请公布日为2025年2月28日，申请公布号为CN119543881A。

本发明公开了一种高性能的声表面波滤波器及其成型方法，该方法成型的滤波器包括衬底层、压电层和谐振器金属层，谐振器金属层中的电极连接区域的上表面还覆盖有覆盖金属层，衬底层上位于谐振器金属层的下方还设置有通道空腔，通道空腔的范围覆盖叉指换能器。该成型方法包括以下步骤：S1、提供衬底层并形成通道空腔；S2、在通道空腔内填充牺牲层；S3、在牺牲层上成型上导热金属层；S4、导出牺牲层；S5、形成压电层；S6、生成谐振器金属层和覆盖金属层。该成型方法成型的声表面波滤波器能够阻隔体波的传输同时提高耐受功率。