智芯微“场板结构优化方法、装置、设备及介质”专利获授权

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天眼查显示,北京智芯微电子科技有限公司近日取得一项名为“场板结构优化方法、装置、设备及介质”的专利,授权公告号为CN119558006B,授权公告日为2025年10月17日,申请日为2024年11月26日。

本公开涉及半导体技术领域,具体涉及一种场板结构优化方法、装置、设备及介质,所述方法包括:获取初始场板结构优化模型;获取调整前的电学性能评价参数;获取多组调整结构参数;获取调整后电学性能评价参数;若调整后电学性能评价参数属于目标参数范围,则将初始的结构参数作为输入,将对应的调整结构参数作为输出,对初始场板结构优化模型进行训练;获取结构参数以及器件参数;若器件参数与初始的器件参数匹配,则将结构参数输入场板结构优化模型以获取目标结构参数;基于目标结构参数进行优化。该方案可以在不依赖人的经验的前提下,针对场板结构进行优化,以确保优化后的半导体器件的性能能够满足要求,提高了优化效率,降低了优化成本。

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