鼎龙股份:年产300吨KrF/ArF光刻胶产业化项目已投产

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3月19日,鼎龙股份公告称,控股子公司鼎龙(潜江)新材料有限公司投资建设的“年产300吨KrF/ArF光刻胶产业化项目”已顺利投产。该项目建成国内首条全流程高端晶圆光刻胶量产线,标志着公司在高端半导体材料领域实现关键突破。

鼎龙股份已布局超30款高端晶圆光刻胶产品,涵盖浸没式ArF与KrF等核心品类,过半数产品已送样客户验证,多款实现稳定批量供应。此次投产的项目对标国际一流标准,建成超三十条成品产线并预留扩展空间,可灵活适配多品类生产,产品覆盖3D NAND、DRAM等高端存储及高性能逻辑器件全制程节点。

此次项目不仅实现核心树脂、光致产酸剂等关键原材料自主供应,还通过智能装备集成、数字孪生管控等技术,实现90%以上自动化操作,保障量产稳定性与产品一致性。同时,公司配备国际一流光刻机及配套评价实验室,叠加覆盖全环节的高端人才矩阵,为产品快速商业化导入提供强力支撑。

鼎龙股份表示,该项目的成功落地,是公司迈向新发展阶段的里程碑,将进一步巩固公司在半导体材料领域的平台化战略布局,对推动公司自身成长与完善国内半导体材料市场供应体系均具有重要战略意义。

(校对/黄仁贵)

责编: 黄仁贵
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