捷报传来！依托深厚的半导体精密量检测技术积淀，御微半导体自研高端装备再迎重要里程碑。面向先进制程掩模基板缺陷检测设备 Halo-300于10月8日正式发运国内头部掩模基板客户。该设备将支撑先进制程掩模基板高精度缺陷检测需求，补齐国产掩模基板检测装备的关键短板，助力国内掩模制造产业链自主能力提升。
董事长段立峰指出，每一款产品成功发运都离不开御微人的攻坚克难和拼搏奋战，高度认可了御微年轻一代工程师的成长，并寄语团队将御微平台作为助力梦想的舞台，充分发挥能量，共同取得成功。
总裁王帆表示，此次交付迈出了国产高端检测设备进入掩模基板产线的坚实一步，未来御微将与客户共同推进该设备进入高端量产环节，最终实现御微从掩模基板制造到掩模版制造，再到晶圆制造的全系列产品布局。
产品经理陈俊豪分享了Halo-300产品化的心路历程，指出发运只是起点，让御微的产品真正为客户创造独特价值才是御微人的目标。御微的使命始终是以领先的产品、服务、解决方案，为客户创造独特价值，持续推动行业创新和发展。
Halo系列产品是御微布局掩模量检测领域的重要一环。自2024年可覆盖 65nm及以上制程节点的初代机型Halo-100交付落地以来，Halo系列凭借卓越的检出能力、优异的工艺适应性及灵活的客制化服务赢得客户信赖，已持续获得行业头部客户的批量复购订单，充分验证了御微在掩模基板检测领域的技术实力与产品可靠性。
此次全新进阶产品Halo-300在检测灵敏度上实现大幅提升，其成功发运助力公司在“掩模全生命周期质量控制”战略布局上实现关键性突破。未来，御微将持续迭代升级产品矩阵、打磨核心技术，助力集成电路制造。
在先进制程掩模制造领域，掩模基板缺陷检测设备技术门槛较高，此前国内相关设备主要依赖进口。Halo-300的成功研发与落地，精准破解了先进制程掩模基板检测的国产化难题，为国内先进制程掩模制造筑牢了自主可控、安全可靠的质量管控屏障。
设备适配场景广泛，可全面覆盖石英基板制造、空白掩模基板制造、光罩厂掩模基板来料检测等上下游核心环节，有助于推动产业链缺陷检测标准的统一。同时，Halo-300高度集成自动化开盒、倒板、翻面等功能模块，大幅减少人工介入，实现检测全流程封闭式智能管控；搭配公司自研智能缺陷分类系统，兼具检测精度与运营效率，全方位满足高端掩模基板的全检需求。
