喜报!御微半导体荣获国家科学技术进步奖一等奖

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为纳米制造铸一把“精准标尺”

7月8日,国家科学技术奖励大会、两院院士大会、中国科协第十一次全国代表大会在京召开,2025年度国家科学技术奖揭晓。御微半导体作为第二单位参与完成的项目“量子化光晶格常数的纳米计量关键技术及集成电路应用”荣获国家科学技术进步奖一等奖。该项目由同济大学牵头,御微半导体与中国计量科学研究院、桂林电子科技大学、上海市计量测试技术研究院等单位合作完成。历经二十余年攻关,项目团队制造出一系列纳米级长度和角度国家一级标准物质,为集成电路等纳米制造领域提供了用于仪器校准与标定的“精准标尺”。

计量是测量的科学及应用。只有测得出,才能造得出;只有测得准,才能造得精。纳米计量是实现纳米制造准确性的前提和保障,“量子化实物标准的纳米计量关键技术”是通过光晶格势阱操控冷原子形成皮米精度的长度和角度标准,并通过集成电路制造技术将上述标准固化为产业用标准片。

一直以来,御微深耕量检测设备领域,对高精度的技术有着长期需求,该技术的推广和应用为纳米制造及其他领域提供了精确测量的基础技术,不仅可以帮助标准片的设计,还可以对标准片进行测试和使用,缩短了纳米计量传递链,提升了扁平化水平,更适用于解决产业应用问题。

国家科学技术进步奖一等奖

量子化光晶格常数的

纳米计量关键技术及集成电路应用

未来,御微将载着这份国家荣誉,持续深耕量检测设备领域,秉持务实、重诺、突破、成事的价值观,不断朝着“致力成为半导体设备行业第一梯队的技术提供者”的目标努力前进!

责编: 爱集微
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