7月19日，滨化集团旗下大晟芯材电子级高纯氟化氢气体投产暨新产品发布会举行。会上披露，公司已实现6N级（99.9999%）高纯氟化氢规模化量产，并完成相关生产及充装能力建设。
高纯氟化氢是半导体制造过程中的重要电子化学品，主要应用于晶圆蚀刻、清洗等环节。滨化集团表示，公司此次量产的6N级高纯氟化氢关键金属离子杂质含量低于1ppb，产品指标达到国际先进水平。
据介绍，6N级高纯氟化氢对纯度要求较高，生产过程中需要对微量杂质进行严格控制。滨化围绕多重精馏耦合、低析出设备选材、钢瓶洁净防护以及微量杂质检测等环节开展技术攻关，实现了从生产到储运环节的全流程控制。
目前，滨化已完成50吨/年高纯氟化氢钢瓶充装线建设与调试，并于7月16日取得山东省特种设备检验研究院颁发的气瓶充装许可证，具备高纯氟化氢生产、充装及销售相关资质。
滨化表示，作为公司首款落地的电子特气产品，高纯氟化氢目前已面向行业重点企业开展产品推广。未来，公司将继续延伸卤系电子特气产业链，布局电子级氯化氢、溴化氢等系列产品。
此外，滨化此前已开展超高纯电子级氢氟酸研发。该项目由滨化联合天津大学完成，属于山东省重点研发计划（重大科技创新工程），相关成果评价显示，产品指标达到国际先进水平，并已导入14纳米先进制程半导体终端客户。
目前，滨化1.7万吨规模的阳信高端电子化学品生产基地已开工建设。公司表示，未来将结合现有产能，进一步完善湿电子化学品和电子特气相关布局。
