立式炉作为集成电路制造的关键设备，主要用于前道氧化、扩散和退火等热处理工艺，直接影响了半导体器件的性能。同时，立式炉可批量处理晶圆，提高生产效率，在当前集成电路生产中占据越来越重要的位置。据SEMI数据显示，2024年立式炉全球市场规模已达32亿美元，预计未来几年将继续保持稳健增长。
2010年，北方华创首台立式炉交付客户。十余年内，北方华创立式炉通过客户端严格验证，实现大规模量产，广泛覆盖逻辑、存储、功率、先进封装及大硅片生产等关键领域，获得客户高度赞誉。2020年，北方华创第100台立式炉交付。2023年6月，第500台立式炉交付，仅1年零6个月后，第1000台立式炉正式交付。千台立式炉的成功出厂，体现了“华创速度”，是北方华创技术革新与品质坚守的有力见证，更是中国半导体设备制造业迈向世界前列的坚实一步。
北方华创立式炉的成功，得益于公司在技术层面的不断创新和突破。立式炉设备以高精度的温度控制能力，良好的成膜均匀性，以及先进的金属及颗粒污染控制技术，大幅提升了芯片良品率。近年来，北方华创还开发了一系列立式炉新技术，进一步巩固自身在行业中的技术领先地位。2024年，北方华创发布等离子体增强氮化硅原子层沉积立式炉（型号：DEMAX SN302P），深受逻辑与存储领域头部客户的青睐；同年发布了间隙填充氧化硅原子层沉积立式炉（型号：DEMAX SN302T），成为3D NAND闪存生产的关键设备。此外，300mm立式氧化炉（型号：THEORIS X302P）自2017年进入高端 3D NAND生产线后，凭借先进的自动化、稳定性和技术指标，屡获批量订单，成为客户首选。
展望未来，北方华创将秉持锐意进取的精神，在集成电路设备的新征程中领航破浪，以卓越品质致敬未来。
